白色结晶，结晶性粉末或无色六方结晶。无臭无味。相对密度2.68;有吸潮性。溶于乙醚等溶剂中，不溶于醇。在酸Chemicalbook中的溶解度比水中大。在碱液中分解，生成氟化钠及二氧化硅。灼热（３００℃）后，分解成氟化钠和四氟化硅。有毒！